Le catastazioni fallite intraprese prima dal governo di Pietro Leopoldo e poi da Ludovico di Borbone Parma, trovano un nuovo inizio sotto la dominazione francese.

Nel 1810, si attiva anche in Toscana il Catasto particellare, su base triangolare a carattere locale che fornirà la base del catasto cosi detto toscano intrapreso dopo la restaurazione. Si trattava di eseguire la triangolazione di tutto il territorio granducale, cosicchè in ogni territorio comunitativo cadessero almeno due o tre punti trigonometrici, la cui distanza relativa servir potesse di base alla triangolazione secondaria che per ogni comune doveva essere eseguita da ingegneri ispettori della misura. Questa triangolazione secondaria, oltre a verificare i lavori metrici dei geometri, sarebbe servita a riunire insieme le mappe e a formare la carta topografica del territorio di ciascun comune; il sistema comunitativo di Pietro Leopoldo non era riuscito a superare l'eccessiva frantumazione delle divisioni territoriali e delle giurisdizioni del passato. Inoltre la scelta di procedere ad una classificazione delle strade in regie e comunitative demandando queste ultime alla custodia delle comunità mediante l'accollo a cottimo di persone del luogo, aveva mostrato i suoi limiti.

Nel 1825 la Deputazione sopra il catasto sottopone al Consiglio di Stato una proposta per istituire nuovi compartimenti degli uffici di Soprintendenza Comunitativa, con la quale si istituisce una classe di strade provinciali. Il Consiglio di stato elabora una riforma, trasformata con motu proprio in legge con l'istituzione di un Dipartimento per la Conservazione del Catasto e per la Direzione dei lavori di acque e strade (1825). Nel 1817 il restaurato Ferdinando III di Lorena nomina una deputazione per il catasto con Inghirami, Ferroni ed altri. Acquista importanza la triangolazione primaria a cui legare le misurazioni di secondo grado topografiche, condotte dall'Inghirami collegandosi alla piccola base geodetica fiorentina misurata nel 1808 dal Barone De Zach, con le quali realizzare la Carta Geometrica della Toscana, nel 1831.

Nel 1834 con l'attuazione del Catasto si chiude in Toscana l'epoca della cartografia pregeodetica.